Syntesen af siliciumnitrid blev første gang rapporteret i 1857 af Henri Edouard Saint-Claire Deville og Friedrich Wöhler. I deres syntese blev en digel indeholdende silicium anbragt i en digel fyldt med kulstof og opvarmet for at reducere gennemtrængning af ilt. De rapporterede om et produkt, de kaldte siliciumnitrid, men var ude af stand til at bestemme dets kemiske sammensætning.
I 1879 fremstillede Paul Schutzenberger produktet ved at opvarme silicium blandet med foringsmateriale (en pasta, der kan bruges som en digelforing, fremstillet ved at blande trækul, kulbriket eller koks med ler) i en højovn og rapporterede det som en forbindelse med sammensætningen Si3N4. I 1910 fremstillede Ludwig Weiss og Theodor Engelhardt Si3N4 ved at opvarme elementært silicium i rent nitrogen. I 1925 syntetiserede Friederich og Sittig siliciumnitrid ved at opvarme siliciumdioxid og kulstof i en nitrogenatmosfære til 1250-1300 grader ved hjælp af termisk reduktion af kulstof.